研究方向

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微纳制造及智能制造(MEMS、印刷电子)


一、基于纳米敏感材料MEMS先进制造技术的微纳传感器芯片工程化平台


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二、悬膜式MEMS硅基微热板


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悬膜式MEMS硅基微热板单芯片设计(a),单个微热板芯片图片(b)和SEM电镜图片(c),4英寸量产MEMS微热板(d),微热板技术参数(e)以及封装后的基于MEMS硅基微热板的气体传感器样品(f)

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